型號:ASR-VMS-6050
工作臺 X/Y軸行程 600MM*500MM
Z軸行程 有效空間235mm,調焦行程250mm,工作距離105mm
大理石臺面尺寸 650MM*550MM
玻璃臺面尺寸 450MM*350MM
傳動型式 傳動型:X/Y/Z軸臺灣進口精密線性導軌和臺灣進口滾珠螺桿
測量伺服驅動系統 光學尺分辨率:X/Y/Z軸0.0002MM(0.2UM)
測量精度:≤2.5UM+L/250 重復精度:≤2.5UM+L/250
機房散熱量計算:
保持機房內計算機系統操作于溫度、濕度空間,必須計算計算機房內總散熱量,其中包括機房內機器散熱量總和(燈光普通照明燈可忽略不計)
·人員散熱量:每人平均600BTY/小時
· 未來擴充的設備(略)
·機房空間散熱量:50BTY/平方英尺